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>> 氧化铝(蓝宝石)衬底
化学式
Al2O3
晶体生长
生长方法
Czochralski,Kyropoulos,Stepanov
最高直径(英寸)
Ø4”
晶体性质
晶体结构
晶格常数(nm)
六角形
a = 0.4758
c = 1.2991
物理性质
颜色
无色
密度(g / cm
3
)
3.98
熔点(K)
2325
热膨胀(10
-6
K
-1
)
6.7摄氏度,5.0摄氏度
介电常数
11.5摄氏度,9.4摄氏度
损耗角正切(@ 77K,10GHz)
3 x 10
-8
摄氏度,8.6 x 10
-8
摄氏度
硬度(莫氏
9
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□ 薄膜生长系统
○
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○
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○
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○
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○
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○
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