>> 氧化锌晶圆/衬底

• □ 薄膜生长系统
  • ○ 脉冲激光沉积系统
  • ○ 激光分子束外延
  • ○ 磁控溅射系统
• □ 部件
  • ○ 反射高能电子衍射仪
  • ○ 真空标准件
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  • ○ 晶体
  • ○ 晶圆衬底
  • ○ 蒸发材料
  • ○ 靶材
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  • ○ 设备维护
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