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>> 二氧化硅晶圆/衬底

化学式SiO2
 
晶体生长
生长方法水热法
最大直径(mm)100 x 100
生长方向[100], [111]
 
晶体性质
晶体结构三角
晶格常数(nm)aa= 0.49124
               c= 0.54039
 
物理性质
颜色无色
密度(g/cm3)2.65
熔点(K)1973
Thermal Conductivity (W • m-1K-1)10.7 ℃, 6.2 ℃ (at 323 K)
热膨胀(10-6 K-1a11 = 13.71, a33 = 7.48
介电常数4.34 ℃, 4.27 ℃ (at 30 MHz)
Elastic Coefficientsc11=87 c12=7 c44=58 c13=13 c14=(-)18 c33=106
Specific Heat Capacity (J •kg-1K )710
硬度(莫氏)7