您的位置： 首页 > 产品中心 > 部件

>> 超高真空直线移动装置


中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALM275系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统移动的标准型中空Z轴驱动器。

超高真空直线移动装置(图1)

中空Z轴驱动器ALM275系列

超高真空直线移动装置(图2)

特点

  • 超高真空环境对应
  • 可对应长行程，电机驱动
  • 轻量把手设计，便于操作
  • 中空型：内径φ39mm

规格

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm) 		A连接法兰
B移动法兰 		C(mm) D(mm) 重量(Kg)
ALM-275/25 25
0.5 		ICF70-FH
ICF70-FT 		85～110 181 1.8
ALM-275/50 50
0.5 		85～135 206 2.8
ALM-275/100 100
0.5 		105～205 276 3.8
ALM-275/150 150
0.5 		130～280 351 5
ALM-275/200 200
0.5 		160～360 431 7.8
ALM-275/300 300
0.5 		210～510 581 7.2
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃




中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALM4系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统移动的中空Z轴驱动。

超高真空直线移动装置(图3)

中空Z轴驱动器 ALM4系列

超高真空直线移动装置(图4)

特点

  • 超高真空环境对应
  • 可对应长行程，电机驱动
  • 轻量把手设计，便于操作
  • 中空型：内径φ70mm

规格

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm) 		A连接法兰
B移动法兰 		C(mm) D(mm) 重量(Kg)
ALM-4/50 50
0.5 		ICF114-FH
ICF114-FT 		150～200 222 11
ALM-4/100 100
0.5 		160～260 282 12
ALM-4/150 150
0.5 		185～335 357 13
ALM-4/200 200
0.5 		220～420 442 14
ALM-4/300 300
0.5 		227～527 549 16
ALM-4/500 500
0.5 		300～800 822 21
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃




中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALMS系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统移动的中空Z轴驱动器。

超高真空直线移动装置(图5)
中空Z轴驱动器
ALMS系列 		超高真空直线移动装置(图6)

特点：

  • 超高真空对应
  • 紧凑设计便于安装
  • 分解能：0.1mm
  • 中空型：内径φ70mm

规格：

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm) 		A连接法兰
B移动法兰 		C
(mm) 		D
(mm) 		E
(mm) 		重量
(Kg)
ALMS-275/25 25
0.1 		ICF70-FH
ICF70-FT 		85～110 182～207 136 2.3
ALMS-275/50 50
0.1 		85～135 182～232 2.7
ALMS-275/100 100
0.1 		105～205 232～332 3.5
ALMS-275/150 150
0.1 		120～270 282～432 4.3
ALMS-4/275/50 50
0.1 		ICF114-FH
ICF70FT 		85～135 182～232 180 3.8
ALMS-4/275/100 100
0.1 		105～205 232～332 4.6
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃




直线导入器(Linear Motion Feedtrough)　ALMR系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。

超高真空直线移动装置(图7)

直线导入器 ALMR系列

超高真空直线移动装置(图8)

特点：

  • 超高真空对应
  • 实心型：轴径φ6mm（g6）
  • 直进能力：120N
  • 分辨率：0.01mm
  • 可电机驱动

规格：

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm) 		A连接法兰
 移动轴径(mm) C(mm) D(mm) 重量(kg)
ALMR-133/10 10
0.01 		ICF34-FH φ6
(g6) 		130.5 50～60 0.7
ALMR-133/20 20
0.01 		153.5 50～70 0.8
ALMR-133/50 50
0.01 		213.5 50～100 0.9
ALMR-275/20 20
0.01 		ICF70-FH 153.5 50～70 1
ALMR-275/50 50
0.01 		213.5 50～100 1.2
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃
直进能力 120N



直线导入器 (Linear Motion Feedtrough) ALML系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。

超高真空直线移动装置(图9)

直线导入器 ALML系列

超高真空直线移动装置(图10)

特点：

  • 超高真空对应
  • 实心型：轴径φ6mm（g6）
  • 直进能力：150N
  • 分辨率：0.5mm

规格：

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm) 		A连接法兰
 移动轴径(mm) C(mm) D(mm) 重量(kg)
ALML-133/20 20
0.5 		ICF34-FH φ6
(g6) 		123.5～143.5 10～30 0.6
ALML-133/30 30
0.5 		130.5～160.5 10～40 0.7
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃
直进能力 150N




中空直线导入器 (Linear Motion Feedtrough)　ALMB系列


适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。

超高真空直线移动装置(图11)

中空直线导入器 ALMB系列

超高真空直线移动装置(图12)

特点：

  • 超高真空对应
  • 中空型：内径φ16mm
  • 直进能力：150N
  • 分辨率：0.1mm
  • 紧凑设计，便于安装

规格：

型 号 Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)

A连接法兰
B移动法兰

C(mm) 重量(kg)
ALMB-133/30 30
0.1 		ICF34-FH
ICF34-FT 		91～121 0.6
ALMB-133/50 50
0.1 		116～166 0.7
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃
直进能力 150N