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XY水平位移台 (XY Stage) AXY系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中传输系统的移动和位置控制。

超高真空操纵台(图1)

XY水平位移台 (XY Stage)AXY系列

超高真空操纵台(图2)

特点

  • 超高真空环境对应
  • NM型：±12.5mm
  • SM型：±12.5mm (0.01mm)
  • LM型：±12.5mm (0.005mm)
  • 可电机驱动

规格

型 号 X,Y轴移动进程(mm)
X,Y轴移动精度(mm) 		A 连接法兰
B 移动法兰 		C内径(mm) D(mm) E(mm) F(mm) 重量(kg)
AXY-275/NM ±12.5
1.0 		ICF70-FT
ICF70-FT 		φ39 130 145.5±12.5 90 3.1
AXY-275/SM ±12.5
0.01 		199.5±12.5
AXY-275/LM ±12.5
0.005 		193.5±12.5 3.5
AXY-4/275NM ±12.5
1.0 		ICF114-FT
ICF70-FT 		145.5±12.5 3.8
AXY-4/275SM ±12.5
0.01 		199.5±12.5 3.9
AXY-4/275LM ±12.5
0.005 		4.1
AXY-4/4NM ±12.5
1.0 		ICF152-FT
ICF114-FT 		φ70 180 224.5±12.5 130 8.1
AXY-4/4LM ±12.5
0.005 		218.5±12.5 8.4
AXY-6/4NM ±12.5
1.0 		ICF114-FT 224.5±12.5 8.6
AXY-6/4LM ±12.5
0.005 		218.5±12.5 8.9
AXY-8/4NM ±12.5
1.0 		ICF203-FT
ICF114-FT 		224.5±12.5 150 11.2
AXY-8/4LM ±12.5
0.005 		218.5±12.5 11.5
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封方式 焊接波纹管方式
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃ (测微器除外)



高精度三轴驱动器 (XYZ Manipulator) AMP系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的移动和位置控制。

超高真空操纵台(图3)
高精度三轴驱动器AMP系列 		超高真空操纵台(图4)

特点

  • 超高真空对应
  • SM型：±12.5mm (0.1mm)
  • LM型：±12.5mm (0.005mm)
  • ICF34-FT 付导入接口(AMP-4除外)
  • 可电机驱动
超高真空操纵台(图5)

规格

型 号 X,Y轴移动进程
X,Y轴移动精度 		Z轴移动进程
Z轴移动精度
(mm) 		A连接法兰
B移动法兰 		C(mm) D(mm) E(mm) 重量(Kg)
AMP-4/275/50SM ±12.5mm
0.01mm 		50/0.5 ICF114-FH
ICF70-FT 		235～285 319 --- 11
AMP-4/275/100SM 100/0.5 240～340 374 12
AMP-4/275/150SM 150/0.5 245～395 430 13
AMP-4/275/200SM 200/0.5 250～450 484 14
AMP-4/275/50LMS ±12.5mm
0.005mm 		50/0.5 235～285 325 11
AMP-4/275/100LMS 100/0.5 240～340 380 12
AMP-4/275/150LMS 150/0.5 245～395 435 13
AMP-4/275/200LMS 200/0.5 250～450 490 14
AMP-6/275/50SM ±12.5mm
0.01mm 		50/0.5 ICF152-FH
ICF70-FT 		235～285 319 ICF34-FT×4 12
AMP-6/275/100SM 100/0.5 240～340 374 13
AMP-6/275/150SM 150/0.5 245～395 430 13
AMP-6/275/200SM 200/0.5 250～450 484 14
AMP-6/275/50LMS ±12.5mm
0.005mm 		50/0.5 235～285 325 12
AMP-6/275/100LMS 100/0.5 240～340 380 13
AMP-6/275/150LMS 150/0.5 245～395 435 14
AMP-6/275/200LMS 200/0.5 250～450 490 15
AMP-8/275/50SM ±12.5mm
0.01mm 		50/0.5 ICF203-FH
ICF70-FT 		235～285 319 ICF34-FT×5 13
AMP-8/275/100SM 100/0.5 240～340 374 14
AMP-8/275/150SM 150/0.5 245～395 430 15
AMP-8/275/200SM 200/0.5 250～450 484 16
AMP-8/275/50LMS ±12.5mm
0.005mm 		50/0.5 235～285 325 13
AMP-8/275/100LMS 100/0.5 240～340 380 14
AMP-8/275/150LMS 150/0.5 245～395 435 15
AMP-8/275/200LMS 200/0.5 250～450 490 16
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃ (测微器除外)


倾斜旋转台 (Tilt Stage) ATS系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品的角度控制。

超高真空操纵台(图6)
倾斜旋转台 (Tilt Stage)
ATS系列 		超高真空操纵台(图7)

特点：

  • 超高真空对应
  • 倾斜角度：±5°

规格：

型 号 A连接法兰
B移动法兰 		C内径
（mm） 		D
（mm） 		E
（mm） 		F
（mm） 		G
（mm） 		H
（mm） 		倾斜角 重量
（Kg）
ATS-275 ICF70-FH
ICF70-FT 		φ38 118±6.5 45 80 φ110 160 ±5° 2
ATS-4 ICF114-FH
ICF114-FT 		φ70 129±6.5 53 95 φ155 205 4.8
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃ （测微器除外）


大口径XYZ三轴位移台 (High Load XYZ Manipulator) ALF3系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中传输系统的移动和位置控制。

可用于i-GONIO以及其他样品台，极低温机构等装置的加载。

超高真空操纵台(图8)
大口径XYZ三轴位移台
ALF3系列 		超高真空操纵台(图9)

特点：

  • 超高真空对应
  • SM型：±12.5mm (0.1mm)
  • LM型：±12.5mm (0.005mm)
  • 大口径移动法兰：ICF152、ICF203
  • 可电机驱动

规格：

型 号 X,Y轴移动距离
X,Y轴移动精度 		Z轴移动距离
Z轴移动精度 		A连接法兰
B移动法兰 		C内径(mm) D(mm) E(mm) 重量(Kg)
ALF3-8/6/50LM/H ±12.5mm
0.005mm
 50mm
0.5mm 		ICF203-FH
ICF152-FT 		φ102 250～300
 268.5
±12.5mm 		37
ALF3-8/6/100LM/H 100mm
0.5mm 		250～350
 38
ALF3-8/6/150LM/H 150mm
0.5mm 		250～400
 39
ALF3-8/6/200LM/H 200mm
0.5mm 		250～450
 40
ALF3-8/6/250LM/H 250mm
0.5mm 		255～505
 41
ALF3-8/6/300LM/H 300mm
0.5mm 		260～560
 42
ALF3-8/6/50LMS/H ±25mm
0.005mm
 50mm
0.5mm 		270～320 298
±25mm 		37
ALF3-8/6/100LMS/H 100mm
0.5mm 		275～375 38
ALF3-8/6/150LMS/H 150mm
0.5mm 		280～430 39
ALF3-8/6/200LMS/H 200mm
0.5mm 		285～485 41
ALF3-8/6/250LMS/H 250mm
0.5mm 		290～540 42
ALF3-8/6/300LMS/H 300mm
0.5mm 		295～595 43
ALF3-8/8/50LM/H ±12.5mm
0.005mm 		50mm
0.5mm 		ICF203-FH
ICF203-FT 		φ152 250～300 268.5
±12.5mm 		39
ALF3-8/8/100LM/H 100mm
0.5mm 		250～350 41
ALF3-8/8/150LM/H 150mm
0.5mm 		250～400 42
ALF3-8/8/200LM/H 200mm
0.5mm 		250～450 43
ALF3-8/8/250LM/H 250mm
0.5mm 		255～505 44
ALF3-8/8/300LM/H 300mm
0.5mm 		260～560 45
ALF3-8/8/50LMS/H ±25mm
0.005mm 		50mm
0.5mm 		300～350 298
±25mm 		40
ALF3-8/8/100LMS/H 100mm
0.5mm 		305～405 41
ALF3-8/8/150LMS/H 150mm
0.5mm 		310～460 42
ALF3-8/8/200LMS/H 200mm
0.5mm 		315～515 43
ALF3-8/8/250LMS/H 250mm
0.5mm 		320～570 44
ALF3-8/8/300LMS/H 300mm
0.5mm 		325～625 46
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 焊接波纹管
驱动方式 螺丝式
烘烤温度 ≤200℃（测微器除外）


差动排气旋转台 (Differentially Pumped Rotary Stage) ARS系列

适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的移动和位置控制。

超高真空操纵台(图10)
差动排气旋转台ARS系列

超高真空操纵台(图11)

特点：

  • 超高真空环境对应（差动排气：1Pa以下）
  • 中空连续旋转台
  • 角度分辨率：0.1°
  • 旋转速度：2rpm以下
  • 可电机驱动

规格：

型 号 A连接法兰
B移动法兰 		C内径(mm) D(mm) E(mm) F差动排气接口法兰 G(mm) H(mm) I(mm) 重量(kg)
ARS-275 ICF70-FT
ICF70-FT 		φ39 70 18 ICF34-FT 60 74 68.5 3.2
ARS-4 ICF114-FT
ICF114-FT 		φ65 70 89 4.2
ARS-6 ICF152-FT
ICF152-FT 		φ105 90 119 96 6.4
ARS-8 ICF203-FT
ICF203-FT 		φ155 100 33 120 169.5 174 13.5
真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec
真空密封 UHV密封
驱动方式 蜗轮
烘烤温度 ≤200℃ (测微器除外)
角度分辨率 0.1°
旋转速度 2rpm以下